นโยบายการจัดการความรู้ มหาวิทยาลัยสงขลานครินทร์ 1.ให้ใช้เครื่องมือการจัดการความรู้ผลักดัน คุณภาพคน และกระบวนทำงาน 2.ส่งเสริมการแลกเปลี่ยนประสบการณ์การทำงาน จากหน้างาน 3.ส่งเสริมให้มีเวทีเรียนรู้ร่วมกัน

ServiceMan
Ico64
Sathaya Bunratchoo
Engineer
Scientific Equipment Center, PSU
เครือข่าย
สมาชิก · ติดตาม: 3 · ผู้ติดตาม: 2

อ่าน: 3406
ความเห็น: 10

ซ่อม SEM อาการเสีย T Axis ไม่ทำงาน

SEM5800 เมื่อ T Axis เสียส่งผลต่อ Z Axis

     29 พ.ค. 2555 ตอนบ่ายๆ หวัน ฉ้ายๆ ยังไม่เลิกงาน นักวิทยาศาสตร์ประจำเครื่อง SEM JSM5800LV แจ้งอาการเครื่องเสียในส่วนการควบคุม Stage อาการปรับเอียงไม่ได้ (แกน T) แต่สามารถปรับระดับความสูงได้ (แกน Z) ServiceMan ได้รับเรื่องก็รีบลงไปดูอาการทันใด สอบถามอาการซ้ำอีกครั้ง และทดสอบการทำงาน พิจารณาถึงต้นเหตุและปลายเหตุ พบว่าแกน T ไม่ค่อยได้ใช้บ่อยนานๆ สักทีจึงจะใช้ เมื่อต้องการจะใช้จึงใช้งานไม่ได้ พิจารณา Motor ซึ่งใช้ขับแกนต่างๆ  Joystick ใช้สำหรับควบคุมพบว่าสามารถควบคุมแกน XY ได้เป็นปกติดังนั้น Joystick ไม่ใช่ปัญหาเพราะเมื่อควบคุมแกน Z และ T Joystick จาก X จะเป็น T และ Y จะเป็น Z ปัญหาจึงไปอยู่ที่ Driver และ Motor ในระหว่างที่ทดสอบอยู่นั้น แกน Z ซึ่งยังปรับได้อยู่ก็เกิดอาการเช่นเดียวกับแกน T คือปรับไม่ได้เช่นกัน ServiceMan จึงหยุดซ่อมและกลับห้องซ่อมเพื่อเปิด Service manual ประกอบการซ่อม

     ประสบการณ์สอนให้รู้ว่าเครื่องมือที่ซับซ้อน มักซ่อนอะไรไว้ ไม่ต้องรีบร้อนซ่อม เปิดคู่มือซ่อม วงจรของเครื่อง แล้ววิเคราะห์หาสาเหตุและปลายเหตุ จะทำให้ซ่อมได้ตรงจุดและไม่ก่อให้เครื่องมือเสียหายมากกว่าเดิม

    เปิดวงจรในส่วน T/Z Driver จึงพบคำตอบนั่นคือ แกน Z และ T ใช้วงจรขับชุดเดียวกัน แต่สลับกันทำงานโดยใช้ Relay ดังนั้นเราไม่สามารถปรับ T และ Z ไปพร้อมกันได้ต่างจาก X และ Y นอกจากนี้หาก T/Z Driver มีปัญหาก็จะส่งผลต่อทั้ง 2 แกน

เปิดเครื่องเพื่อหาจุดเสีย อันนี้มีคนเปิดให้แล้ว ดูจากบันทึกนี้

T/Z Driver จะอยู่ด้านซ้ายสุด ตั้งป้าย Service ปิดเครื่องแล้วถอดออกมา

ตอนแรกเข้าใจว่า SLA8001 ซึ่งเป็น Driver จะเสียหายแต่ไม่เสียถือว่าดีมาก ส่วนที่เสียหายคือ Fuse ขนาด 1A/250V ขาดนั่นแสดงว่ามีกระแสที่มากเกิน 1 A Fuse ที่ว่าจะช่วยป้องกัน SLA8001 กรณีที่ Motor เกิดปัญหา ดูวงจรประกอบจากรูปบนสุด

สิ่งที่จะเป็นปัญหาได้คือ Motor ของแกน T และ Z ดังภาพด้านล่าง (Z ทางซ้าย T ทางขวา) เมื่อวัด Impedance พบว่า Z=14.5 ohm แต่วัด T ไม่ได้ เป็นไปได้ว่า ขดลวดอาจจะขาดหรือแปลงถ่านอาจจะประกบไม่สนิทเนื่องจากไม่ได้ใช้งานบ่อยๆ

 

เมื่อถอด T motor ออกมาและขยับขั้วต่อและแกน รู้สึกฝืดในตอนแรกและหมุนได้คล่องเมื่อหมุนต่อไป วัด Impedance ใหม่ได้ 15 ohm ซึ่งใกล้เคียงกับ Z motor ทดลองป้อน DC 24V ก็สามารถหมุนได้เป็นปกติ

 

ทำการประกอบกลับ เปิดเครื่อง ทดสอบ พบว่าสามารถใช้งานได้เป็นปกติทุกแกน และ Fuse ไม่ขาด

     สาเหตุคาดว่าน่าจะเกิดจากแกน T ไม่ได้ใช้งานนาน เมื่อนานไปหน้าสัมผัสของ Motor ซึ่งเป็นทองแดงจึงเกิดคราบขึ้น (ออกไซด์) และเฟืองมีความฝืดเกินกว่า Motor จะหมุนได้ส่งผลให้กระแสเกิน (I = V/R ==> 24/15 มากกว่า 1) Fuse จึงขาด การป้องกันจึงควรปรับแกน T บ้างทุกครั้งที่ใช้เครื่อง (ซึ่งใช้ทุกวัน) จะทำให้ไม่เกิดปัญหาในอนาคต

     หลายครั้งที่นักวิทยาศาสตร์สงสัยว่า ServiceMan มาดูๆ เครื่องแล้วก็หายไป ไม่มาซ่อมต่อ ไม่ได้หายไปไหนครับ ต้องค้นข้อมูลประกอบการซ่อม เพื่อกลับมาซ่อมต่อให้ถูกต้อง อาจช้าไปบ้าง แต่โบราณว่าไว้ เสียน้อยเสียยากเสียมากเสียง่าย เครื่องนี้ใช้เวลาซ่อม 1 วัน อาจนานไปสำหรับลูกค้า แต่คงไม่นานเกินรอ :)

หมวดหมู่บันทึก: พัฒนางานประจำ
สัญญาอนุญาต: ซีซี: แสดงที่มา-ไม่ใช้เพื่อการค้า-อนุญาตแบบเดียวกัน Cc-by-nc-sa
สร้าง: 03 มิถุนายน 2555 10:57 แก้ไข: 03 มิถุนายน 2555 10:57 [ แจ้งไม่เหมาะสม ]
ดอกไม้
สมาชิกที่ให้กำลังใจ: Ico24 DaDa, Ico24 HS9OCB, และ 8 คนอื่น.
สมาชิกที่ให้กำลังใจ
 
Facebook
Twitter
Google

บันทึกอื่นๆ

ความเห็น

หลังกล้อง..บันทึกช่างทุ่มเท ของ tinyapple...

ถ้าซ่อมไม่ได้ก็อาจจะมีคน "ฟิวส์ขาด" ก็ได้เหมือนกันนะครับ

"การใช้งานเป็นการบำรุงรักษาอย่างหนึ่ง" ดังที่ท่านคนธรรมดาเขียนเล่าไว้ในบันทึกครับ แขน-ขา ถ้าไม่มีการขยับก็อ่อนแรง/ ลีบ ได้เช่นกัน

ความรู้ก็ต้องหมั่นใช้ (เขียนแชร์) ถึงจะรู้ยิ่งๆ ขึ้นไป

เราเอง

เราไม่ได้สงสัยว่าพวกท่านหายไปใหนหรอก เพราะรู้อยู่

ส่วนแกน T ใช้ในการเอียงชิ้นงาน เพื่อถ่ายรูปมุมที่สนใจ หรือกรณีที่หน้าตัดชิ้นงานเอีงมากเกินไป ทำให้ต้องปรับระดับ แกนนี้ก็ใช้บ่อยอยู่เหมือนกันนะ แต่ยังไม่เท่าแกน X Y Z

แล้วอาการ X Y เลื่อนเองตามใจฉันนี้ เราจะทำอย่างไรได้บ้าง

เครื่อง SEM เนี่ยไม่ต้องห่วงเลยเวลาเครื่องมีปัญหา เพราะมั่นใจได้เลยว่า วิศวกรเราซ่อมได้แน่

อาการ XY แอบพา Stage หนี เดี๋ยวจะลองหาอะหลั่ยทดแทนดูครับ แต่คงไม่ง่านสักเท่าไร

อ้าว แกนสำหรับ tilt หรือเนี่ย ไอ้เราก้อนึกว่า แกน Z ซะอีก

Ico48
Mr.GOLF [IP: 110.171.82.80]
31 สิงหาคม 2555 19:01
#80150

ปกติเครื่องรุ่นนี้เวลาใช้งานนานๆไป ตำแหน่ง X,Y,T,Z,R จะไม่ตรง และยิ่งมีการถอดมอเตอร์แกนใดแกนหนึ่ง ตำแหน่งก็จะไม่ตรง

โดยทั่วๆไปต้อง Calibration ใหม่ทุกๆ6เดือน หรือไม่เกิน1ปี ถ้าไม่ได้ใช้ EDS ก็จะไม่ค่อยกังวลเท่าไรครับ แต่ใช้ EDS ส่วนมากแล้วเรา จะใช้ Z (WD) 10mm. +- ได้ 1mm. จะเป็นตำแหน่งที่ดีที่สุดในการใช้ Oxford EDS และควรใช้แกน T เมื่อเราใช้กำลังขยาย SEM ต่ำๆ กรณีผิวตัวอย่างที่นำมาวิเคราะห์ธาตุ ไม่เรียบเท่านั้น, เราจึงเอียงตัวอย่างให้เอียงเข้าหา EDS detector แต่ถ้าเราวิเคราะห์หลัก X 350 เท่าขึ้นไปก็ไม่ต้อง Tilt เอียงตัวอย่างครับ

กรณีถ้าเราใช้ EDS แล้วเราไม่ได้ทำ Calibrate Stage และเราไม่ทราบวิธีการ Calibrate Stage เราก็จะใช้วิธีสังเกตุเอานะครับ

โดยให้สังเกตุค่า wd ที่จอ LCD ว่าเมื่อเรา Focus ได้แล้วค่าที่ได้ควรจะเป็นค่า 10 mm.+-1 ก็ได้แล้วครับ ถามว่าถ้ามัน+- เกิน1ละ

ก็ไม่เป็นไรมาก เพียงแต่ EDS % dead time จะต่ำ และnoise ที่Spectrum จะมาก และการวิเคราะห์ด้าน Light element จะไม่ดีครับ

กรณีใช้ SEM ถ่ายรูปอย่างเดียวก็ไม่ต้องกังวล ว่าตำแหน่ง X,Y,T,Z,R จะไม่ตรงครับ

อีกกรณีหนึ่งครับ กรณีที่ SEM มี Air Lock Chamber ก็จะต้อง Cal.ทุกๆ 6 เดิอนครับ เพื่อให้ตำแหน่งได้เวลาเปลี่ยนตัวอย่าง

เครื่อง JSM 5800 LV ที่นี้ผมไม่แน่ใจว่า มีAir Lock หรือเปล่าผมจำไม่ได้ ผมเป็นคนติดตั้งเองครับ พร้อม JSM 5200 + EMPA

เครื่องรุ่นนี้จะมีที่ STREC,บางมด,ม.สุรนารี แล้วเอกชนอีก 2 ที่น้ำท่วมไปหนึ่งครับ

ถ้าต้องการวิธีการ Cal. Stage เมล์ขอวิธีได้นะครับ manatsanan2007@hotmail.com, ไม่บอกไว้เลยเพราะ การ Cal. จะมีวิธีและข้อควรระวังเวลาทำ เพราะอาจจะชน BEI Detector ได้เวลา Cal. ครับผม

กอล์ฟ

Ico48
Mr.GOLF [IP: 110.171.82.80]
31 สิงหาคม 2555 19:57
#80151

แล้วอาการ X Y เลื่อนเองตามใจฉันนี้ เราจะทำอย่างไรได้บ้าง

@ ลองทำความสะอาด VR (Variable resistor) และเช็คสปริงทองแดงของ Joystic ดูครับ เคยทำความสะอาดแล้วใช้ได้ครับ

ถ้าหน้าสัมผัส VRสึก ก็ต้องเปลี่ยนใหม่ ทางนี้น่าจะมีครับ RSThailand ตามลิงค์ล่าง

http://thailand.rs-online.com/web/?cm_mmc=TH-PPC-0411-_-google-_-0_RS-Brand-_-rsthailand_Phrase

ขอบคุณ Mr.GOLF ที่ร่วมแบ่งปันครับ เป็นข้อมูลที่เป็นประโยชน์มากเลยครับ

ให้ 1 ช่อ

Ico48
Mr.GOLF [IP: 171.101.242.27]
20 กันยายน 2555 12:42
#80621

ยินดีครับผม

ร่วมแสดงความเห็นในหน้านี้

ชื่อ:
อีเมล:
IP แอดเดรส: 18.215.185.97
ข้อความ:  
เรียกเครื่องมือจัดการข้อความ
   
ยกเลิก หรือ