วิธี Clean aperture

สืบเนื่องจากวันจันทร์ต้องง่วนอยู่กับการปรับ เครื่อง SEM 5800 ทั้งวัน ปรับโฟกัสยังไงก็ไม่ชัด (แต่ stigmator ก็ไม่ได้หลุดขอบ อย่างก่อนหน้านี้ที่มีปัญหาคือ ปรับ stigmator ไม่ได้ แล้วทำการ clean aperture ก็เลยหาย แต่นึกไม่ถึงว่าจะมาจากสาเหตุเดียวกัน) ทำไงดีหว่า เพราะลูกค้าต้องการถ่ายภาพกำลังขยายสูง จำเป็นต้องใช้ aperture เบอร์ 1 เลยไม่ได้ลองปรับไปที่เบอร์อื่น แต่ได้พี่ Zenki มาช่วยก็เลยได้ถ่ายภาพที่กำลังขยายต่ำก่อน ได้จังหวะวันอังคารลูกค้ายกเลิกการใช้เครื่องพอดี ถึงเวลาจัดการ Clean aperture ตามคำแนะนำของพี่ service man (ให้มันหายจากเพ้อเจ้อซักกะที) เข้าเรื่องเลยดีกว่า

หน้าตาของเครื่อง vacuum evaporator

การทำความสะอาด aperture ห้ามใช้อะไรเช็ด หรือถูโดยเด็ดขาด เนื่องจากมันค่อนข้างบอบบางสุดๆ  เพราะแค่ใช้ forceps คีบนิดเดียวมันก็บี้แล้ว (ปกติ aperture ทั้งของเครื่อง TEM และ SEM นิยมทำมาจาก Mo หรือ Pt) ดังนั้น ก็เลยต้องใช้เครื่อง Vacuum evaporator ซึ่งจริงๆ เครื่องนี้จะใช้ coat ตัวอย่าง ไม่ว่าจะ coat ด้วย คาร์บอน เงิน อะลูมิเนียม หรือโลหะชนิดต่างๆ แต่ด้วยหลักการของเครื่องทำให้สามารถ heat เอาสิ่งสกปรกออกจาก aperture ได้ไม่ยาก แต่ยากตรงที่ต้องใช้เวลานานในการรอกว่าความดันจะได้ คือประมาณ ~10^-4 Pa (เวลาทั้งหมดของวันอังคารหมดไปกับการ Clean aperture แต่ก็คุ้มค่า ไม่งั้นก็คงต้องเสี่ยงว่าวันไหนมันจะดื้อขึ้นมาอีก)

สิ่งที่ยากอีกอย่างนึงสำหรับเจ้าแผ่น aperture บางๆ ก็คือ การจับให้มันอยู่บน boat โดยไม่ปลิว และไม่หล่นหายไปเสียก่อน ครั้งนี้ใช้ boat อันเล็ก วางลงไปแบบเอียงๆ พอใส่ bell jar (โถแก้ว) ลงไป มันก็ปลิวว่อน ทั้ง 2 ครั้ง (เล่นเอาหายใจไม่ทั่วท้อง) แต่โชคดีที่มันไม่ไปไหนไกล อุตส่าห์ heat เอาพวก oxide ที่อยู่บนผิวมันออกก่อน จะได้ไม่ไปติดบน aperture แต่ต้องจำใจเปลี่ยนอันใหม่ที่ใหญ่กว่าเดิมและมีร่องกันไม่ให้มันปลิวไปไหน และต้องรอให้ความดันได้จึงจะ heat ทำความสะอาดใหม่อีกครั้ง กว่าจะเสร็จทุกขั้นตอนหมดไป 1 วันกว่าๆ หมดพลังงานไปเลยวันนี้